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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射AlN薄膜电极材料
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williamfive

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射AlN薄膜电极材料

最近小弟再做AlN，用的是磁控溅射方法，现在需要做电极，不知哪种金属或者其他材料可以与AlN形成欧姆接触呢，我做的是掺杂的，需要测试电性能，希望懂这行的虫友给我一点指点，非常感谢！
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种兰不种艾，兰生艾亦生
1楼2011-06-04 10:13:13
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senlinlangzi

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
williamfive(金币+1): 这个，要是那么容易计算就好了，似乎很难找的样子，不要这么理论，工程化一点，原理大家都懂的 2011-06-04 10:36:08
shecf(金币+1): 2011-06-04 10:51:14
理论上说最主要看功函数。你所做的AlN的功函数是多少？？找一个和AlN的功函数一样或者接近的金属或者导电化合物就行了。
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2楼2011-06-04 10:27:35
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senlinlangzi

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
shecf(金币+1): 在奖励一下 2011-06-04 12:14:45
williamfive(金币+4): 是XPS吧，先等待高人看看有没有现成的 2011-06-04 12:37:03
williamfive(金币+1): 懂了，ups测试是可以的，谢过了，不知道纯氮化铝的功函数是多少？ 2011-06-04 14:28:44
引用回帖:
Originally posted by senlinlangzi at 2011-06-04 10:27:35:
理论上说最主要看功函数。你所做的AlN的功函数是多少？？找一个和AlN的功函数一样或者接近的金属或者导电化合物就行了。

不是你说的那样，功函数你可以直接测试数据处理得到的，用UPS测试，估计100-300元之间一个样品，（很多地方是按时间计算的，300-500元/小时）。金属的大家功函数基本上都知道，不放心也可以测一下。
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3楼2011-06-04 11:51:33
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鸦雀望高飞

铁虫 (初入文坛)
先镀十秒的钛，再镀两分钟的金。
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4楼2013-09-29 10:31:35
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