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williamfive银虫 (初入文坛)
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磁控溅射AlN薄膜电极材料
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最近小弟再做AlN，用的是磁控溅射方法，现在需要做电极，不知哪种金属或者其他材料可以与AlN形成欧姆接触呢，我做的是掺杂的，需要测试电性能，希望懂这行的虫友给我一点指点，非常感谢！ |
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