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williamfive

银虫 (初入文坛)

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[求助] 磁控溅射AlN薄膜电极材料

最近小弟再做AlN，用的是磁控溅射方法，现在需要做电极，不知哪种金属或者其他材料可以与AlN形成欧姆接触呢，我做的是掺杂的，需要测试电性能，希望懂这行的虫友给我一点指点，非常感谢！

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种兰不种艾，兰生艾亦生

1楼2011-06-04 10:13:13

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