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williamfive

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射AlN薄膜电极材料

最近小弟再做AlN,用的是磁控溅射方法,现在需要做电极,不知哪种金属或者其他材料可以与AlN形成欧姆接触呢,我做的是掺杂的,需要测试电性能,希望懂这行的虫友给我一点指点,非常感谢!
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senlinlangzi

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


williamfive(金币+1): 这个,要是那么容易计算就好了,似乎很难找的样子,不要这么理论,工程化一点,原理大家都懂的 2011-06-04 10:36:08
shecf(金币+1): 2011-06-04 10:51:14
理论上说最主要看功函数。你所做的AlN的功函数是多少??找一个和AlN的功函数一样或者接近的金属或者导电化合物就行了。
2楼2011-06-04 10:27:35
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senlinlangzi

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


shecf(金币+1): 在奖励一下 2011-06-04 12:14:45
williamfive(金币+4): 是XPS吧,先等待高人看看有没有现成的 2011-06-04 12:37:03
williamfive(金币+1): 懂了,ups测试是可以的,谢过了,不知道纯氮化铝的功函数是多少? 2011-06-04 14:28:44
引用回帖:
Originally posted by senlinlangzi at 2011-06-04 10:27:35:
理论上说最主要看功函数。你所做的AlN的功函数是多少??找一个和AlN的功函数一样或者接近的金属或者导电化合物就行了。

不是你说的那样,功函数你可以直接测试数据处理得到的,用UPS测试,估计100-300元之间一个样品,(很多地方是按时间计算的,300-500元/小时)。金属的大家功函数基本上都知道,不放心也可以测一下。
3楼2011-06-04 11:51:33
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鸦雀望高飞

铁虫 (初入文坛)

先镀十秒的钛,再镀两分钟的金。
4楼2013-09-29 10:31:35
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