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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？
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坚持
1楼2013-11-05 15:38:18
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
妹子的设备是哪里买的啊？
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2楼2013-11-05 20:47:14
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的

沈科仪的么？
你的沉积速率多高啊？
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4楼2013-11-05 21:04:58
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 22:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题，以前镀得都还好，今天第一次用高功率脉冲做，参数比照文献设的，但感觉溅射时靶材亮度不对，还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗？我是刚开始做这个的菜鸟， ...

是不是短路了？
你靶材表面和靶材电极附近清理了么？
你有设备的外观照或者内部构造的照片么？
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8楼2013-11-05 21:54:49
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
11楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-06 10:29:19
觉得你说得挺在理的。靶表面功率密度怎么计算？功率/体积，还是功率/表面积？对于高脉冲电源是用平均功率计算吗？谢谢。。。...

问一下妹子
这种脉冲溅射和普通的磁控溅射有什么差别啊？
有什么优势?
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12楼2013-11-06 22:32:13
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
13楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-06 23:35:24
靶材离化率高些。镀膜质量好些。峰值功率比平均功率高两个数量级。你也做这方面？...

我用磁控溅射
这个脉冲溅射没怎么听过，所以好奇啊。

靶材离化率高，有什么好处呢？不明白
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16楼2013-11-07 11:14:26
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
18楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-07 13:24:22
离化率高的话，我的理解就是类似于离子镀了，沉积在基片上的膜层会致密些，绕镀性好些。...

妹子有这方面的书籍么？
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21楼2013-11-07 18:32:48
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