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minner__

金虫 (小有名气)

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[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？

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坚持

1楼2013-11-05 15:38:18

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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

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引用回帖:

5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 22:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题，以前镀得都还好，今天第一次用高功率脉冲做，参数比照文献设的，但感觉溅射时靶材亮度不对，还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗？我是刚开始做这个的菜鸟， ...

是不是短路了？
你靶材表面和靶材电极附近清理了么？
你有设备的外观照或者内部构造的照片么？