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高功率脉冲磁控溅射,求大神指导
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高功率脉冲磁控溅射,求大神指导
高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层,一个小时没镀上,求教可能的原因?
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2013-11-05 15:38:18
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9楼
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Originally posted by
zkchang
at 2013-11-06 08:09:33
有闪烁会不会是打弧了?
也有可能功率过高导致靶表面击穿?
正常磁控溅射的靶表面功率密度是5-10W/cm2,最大不能超过20W/cm2,要考虑到文献中与自己设备的区别(比如溅射靶尺寸等)。
建议上张图。...
觉得你说得挺在理的。靶表面功率密度怎么计算?功率/体积,还是功率/表面积?对于高脉冲电源是用平均功率计算吗?谢谢。。。
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11楼
2013-11-06 09:29:19
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妹子的设备是哪里买的啊?
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2楼
2013-11-05 20:47:14
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2楼
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Originally posted by
wbcui
at 2013-11-05 20:47:14
妹子的设备是哪里买的啊?
沈阳的
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3楼
2013-11-05 20:48:52
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minner__
at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的
沈科仪的么?
你的沉积速率多高啊?
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4楼
2013-11-05 21:04:58
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