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minner__

金虫 (小有名气)

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[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？

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坚持

1楼2013-11-05 15:38:18

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zkchang

木虫 (小有名气)

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引用回帖:

5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题，以前镀得都还好，今天第一次用高功率脉冲做，参数比照文献设的，但感觉溅射时靶材亮度不对，还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗？我是刚开始做这个的菜鸟， ...

有闪烁会不会是打弧了？
也有可能功率过高导致靶表面击穿？
正常磁控溅射的靶表面功率密度是5-10W/cm2，最大不能超过20W/cm2，要考虑到文献中与自己设备的区别（比如溅射靶尺寸等）。
建议上张图。