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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？
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坚持
1楼2013-11-05 15:38:18
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
13楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-06 23:35:24
靶材离化率高些。镀膜质量好些。峰值功率比平均功率高两个数量级。你也做这方面？...

我用磁控溅射
这个脉冲溅射没怎么听过，所以好奇啊。

靶材离化率高，有什么好处呢？不明白
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16楼2013-11-07 11:14:26
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
妹子的设备是哪里买的啊？
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2楼2013-11-05 20:47:14
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minner__

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 20:47:14
妹子的设备是哪里买的啊？

沈阳的
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坚持
3楼2013-11-05 20:48:52
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的

沈科仪的么？
你的沉积速率多高啊？
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4楼2013-11-05 21:04:58
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