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[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？

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坚持

1楼2013-11-05 15:38:18

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引用回帖:

15楼: Originally posted by zkchang at 2013-11-07 08:27:28
靶表面功率密度并非计算，而是经验值。通过与靶表面积乘积即可得到靶的功率数值（看单位就应该能明白）。
另外，国外某品牌电源灭弧时间在3微秒左右。而其它电源普遍相应时间在毫秒量级，与人眼反应时间接近，所以 ...

高功率脉冲磁控溅射的一个特点就是峰值功率比平均功率高两个数量级，而从电源的显示屏上也只能看出峰值的电压电流，工程师说具体的平均输出需要用仪器测才知道。今天又试了下，虽然峰值功率较大，但靶表面没有之前做直流磁控溅射亮度高，而且会有一个亮斑绕着靶材中心一直转动，我也不知道具体怎么描述。

怕把仪器搞坏就停了。