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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？
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坚持
1楼 2013-11-05 15:38:18
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zkchang

木虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-06 09:29:19
觉得你说得挺在理的。靶表面功率密度怎么计算？功率/体积，还是功率/表面积？对于高脉冲电源是用平均功率计算吗？谢谢。。。...

靶表面功率密度并非计算，而是经验值。通过与靶表面积乘积即可得到靶的功率数值（看单位就应该能明白）。
另外，国外某品牌电源灭弧时间在3微秒左右。而其它电源普遍相应时间在毫秒量级，与人眼反应时间接近，所以你说能看到闪光（姑且推断为打弧），很有可能是使用的电源灭弧时间较长导致。
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15楼2013-11-07 08:27:28
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
妹子的设备是哪里买的啊？
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2楼2013-11-05 20:47:14
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minner__

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 20:47:14
妹子的设备是哪里买的啊？

沈阳的
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坚持
3楼2013-11-05 20:48:52
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的

沈科仪的么？
你的沉积速率多高啊？
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4楼2013-11-05 21:04:58
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