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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？
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坚持
1楼 2013-11-05 15:38:18
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xaver2010

金虫 (小有名气)
楼主问题搞定了吗？？换用脉冲电源是因为要抑制柱状晶生长吗？？我之之前溅射的金属因为柱状晶生长很明显，也打算改用脉冲电源呢。。
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xsz2013
22楼2013-11-12 15:36:28
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xaver2010

金虫 (小有名气)
引用回帖:
25楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-12 21:34:46
差不多算解决了。抑制柱状晶的话，可以添加一些其他组元。工艺也能影响形貌，你试下吧。...

其他组元是指什么？？加入其他金属元素吗？？最近很愁这个事情啊，间歇进行溅射也存在柱状晶的生长啊。。多谢啦
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26楼2013-11-12 21:47:35
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xaver2010

金虫 (小有名气)
引用回帖:
31楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-03-18 18:02:26
为什么要抑制柱状晶的出现呢？我的也出现柱状晶了，菜鸟求教，谢谢了...

搞不定啊，你再问问楼主。。。貌似她说解决了啊
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32楼2015-03-19 20:38:32
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