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金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1044.9
红花: 1
帖子: 136
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性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？

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坚持

1楼2013-11-05 15:38:18

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辛苦了

铁虫 (初入文坛)

应助: 11 (小学生)
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红花: 2
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虫号: 2738089
注册: 2013-10-20
专业: 金属功能材料

【答案】应助回帖

考虑过“反溅射”吗？
高峰值脉冲溅射会引起朗缪尔壳层极速扩展，脉冲电压消失瞬间，真空室内的电场有瞬态畸变，无论基板是否悬浮，都可能在这个畸变电场作用下，Ar+冲向基板，将处在基板表面，尚处于高能态的刚刚沉积的原子或原子团溅射掉。
判定途径：用示波器仔细查看处于悬浮态基板的电压波形，若出现绝对值很高的负脉冲（如大于200V），则可以认为发生了反溅射。
若确认发生的反溅射。试试这个措施：基板接地，或使用低内阻电源施加不超过-70的偏压。