【答案】应助回帖

21楼2013-11-07 18:32:48

xaver2010

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1576.5
红花: 1
帖子: 268
在线: 247.1小时
虫号: 1990100
注册: 2012-09-10
专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶

楼主问题搞定了吗？？换用脉冲电源是因为要抑制柱状晶生长吗？？我之之前溅射的金属因为柱状晶生长很明显，也打算改用脉冲电源呢。。

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

xsz2013

22楼2013-11-12 15:36:28

minner__

金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1044.9
红花: 1
帖子: 136
在线: 64.6小时
虫号: 1282166
注册: 2011-04-30
性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

引用回帖:

21楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-07 18:32:48
妹子有这方面的书籍么？...

没有。。

坚持

23楼2013-11-12 21:21:52

ddx4142

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 66 (初中生)
金币: 7847.6
散金: 81
红花: 6
帖子: 1527
在线: 636.5小时
虫号: 693350
注册: 2009-01-16
性别: GG
专业: 机械摩擦学与表面技术

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
minner__: 金币+5 2013-11-24 09:26:22

引用回帖:

5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题，以前镀得都还好，今天第一次用高功率脉冲做，参数比照文献设的，但感觉溅射时靶材亮度不对，还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗？我是刚开始做这个的菜鸟， ...

根据你的实验现象，靶材不够亮，不停闪。个人觉得可能是Ar气气压和电源功率不匹配导致，可以考虑增大氩气流量，同时增大电源功率。

24楼2013-11-12 21:32:46

minner__

金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1044.9
红花: 1
帖子: 136
在线: 64.6小时
虫号: 1282166
注册: 2011-04-30
性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

引用回帖:

22楼: Originally posted by xaver2010 at 2013-11-12 15:36:28
楼主问题搞定了吗？？换用脉冲电源是因为要抑制柱状晶生长吗？？我之之前溅射的金属因为柱状晶生长很明显，也打算改用脉冲电源呢。。

差不多算解决了。抑制柱状晶的话，可以添加一些其他组元。工艺也能影响形貌，你试下吧。

坚持

25楼2013-11-12 21:34:46

xaver2010

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1576.5
红花: 1
帖子: 268
在线: 247.1小时
虫号: 1990100
注册: 2012-09-10
专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶

引用回帖:

25楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-12 21:34:46
差不多算解决了。抑制柱状晶的话，可以添加一些其他组元。工艺也能影响形貌，你试下吧。...

其他组元是指什么？？加入其他金属元素吗？？最近很愁这个事情啊，间歇进行溅射也存在柱状晶的生长啊。。多谢啦

26楼2013-11-12 21:47:35

辛苦了

铁虫 (初入文坛)

应助: 11 (小学生)
金币: 32.7
红花: 2
帖子: 21
在线: 10.8小时
虫号: 2738089
注册: 2013-10-20
专业: 金属功能材料

【答案】应助回帖

考虑过“反溅射”吗？
高峰值脉冲溅射会引起朗缪尔壳层极速扩展，脉冲电压消失瞬间，真空室内的电场有瞬态畸变，无论基板是否悬浮，都可能在这个畸变电场作用下，Ar+冲向基板，将处在基板表面，尚处于高能态的刚刚沉积的原子或原子团溅射掉。
判定途径：用示波器仔细查看处于悬浮态基板的电压波形，若出现绝对值很高的负脉冲（如大于200V），则可以认为发生了反溅射。
若确认发生的反溅射。试试这个措施：基板接地，或使用低内阻电源施加不超过-70的偏压。

赞一下(1人)

27楼2013-11-22 21:10:23