高功率脉冲磁控溅射，求大神指导 - 材料综合 - 材料物理

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铜虫 (小有名气)

送红花一朵

引用回帖:

22楼: Originally posted by xaver2010 at 2013-11-12 15:36:28
楼主问题搞定了吗？？换用脉冲电源是因为要抑制柱状晶生长吗？？我之之前溅射的金属因为柱状晶生长很明显，也打算改用脉冲电源呢。。

为什么要抑制柱状晶的出现呢？我的也出现柱状晶了，菜鸟求教，谢谢了

31楼2015-03-18 18:02:26

金虫 (小有名气)

引用回帖:

31楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-03-18 18:02:26
为什么要抑制柱状晶的出现呢？我的也出现柱状晶了，菜鸟求教，谢谢了...

搞不定啊，你再问问楼主。。。貌似她说解决了啊

32楼2015-03-19 20:38:32

新虫 (初入文坛)

我师妹用高功率脉冲磁控溅射做过这个，在玻璃基底，不做任何处理还是可以镀上的，只是有掉皮现象（2um左右，可能太厚）。你这没镀上是，什么都没有嘛？靶距问题？脉冲电源，靶毒化了，也是该有东西上去的。

33楼2015-05-08 17:19:22

铁虫 (初入文坛)

楼主你好，新手求助，我也是做高功率脉冲磁控溅射的，不过我用的是调制脉冲MPP，我溅射的是AlMgTiB靶材，现在靶面上能起辉，但是脉冲电流不能再示波器上显示出来是什么原因呢？

34楼2016-05-18 10:31:00

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