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minner__

金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
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性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？

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坚持

1楼2013-11-05 15:38:18

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visionv1

铁虫 (初入文坛)

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虫号: 3146743
注册: 2014-04-18
专业: 功能陶瓷

楼主你好，新手求助，我也是做高功率脉冲磁控溅射的，不过我用的是调制脉冲MPP，我溅射的是AlMgTiB靶材，现在靶面上能起辉，但是脉冲电流不能再示波器上显示出来是什么原因呢？

34楼2016-05-18 10:31:00

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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