9楼: Originally posted by zkchang at 2013-11-06 08:09:33
有闪烁会不会是打弧了？
也有可能功率过高导致靶表面击穿？
正常磁控溅射的靶表面功率密度是5-10W/cm2，最大不能超过20W/cm2，要考虑到文献中与自己设备的区别（比如溅射靶尺寸等）。
建议上张图。...

11楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-06 10:29:19
觉得你说得挺在理的。靶表面功率密度怎么计算？功率/体积，还是功率/表面积？对于高脉冲电源是用平均功率计算吗？谢谢。。。...

12楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-06 22:32:13
问一下妹子
这种脉冲溅射和普通的磁控溅射有什么差别啊？
有什么优势?...

11楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-06 09:29:19
觉得你说得挺在理的。靶表面功率密度怎么计算？功率/体积，还是功率/表面积？对于高脉冲电源是用平均功率计算吗？谢谢。。。...

13楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-06 23:35:24
靶材离化率高些。镀膜质量好些。峰值功率比平均功率高两个数量级。你也做这方面？...

15楼: Originally posted by zkchang at 2013-11-07 08:27:28
靶表面功率密度并非计算，而是经验值。通过与靶表面积乘积即可得到靶的功率数值（看单位就应该能明白）。
另外，国外某品牌电源灭弧时间在3微秒左右。而其它电源普遍相应时间在毫秒量级，与人眼反应时间接近，所以 ...

16楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-07 11:14:26
我用磁控溅射
这个脉冲溅射没怎么听过，所以好奇啊。

靶材离化率高，有什么好处呢？不明白...

14楼: Originally posted by materialian at 2013-11-07 00:14:56
检查铬靶表面生成氮化铬，中毒了？
用纯氩气溅射，清靶。

17楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-07 12:21:24
高功率脉冲磁控溅射的一个特点就是峰值功率比平均功率高两个数量级，而从电源的显示屏上也只能看出峰值的电压电流，工程师说具体的平均输出需要用仪器测才知道。今天又试了下，虽然峰值功率较大，但靶表面没有之前 ...