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高功率脉冲磁控溅射,求大神指导
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minner__
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[
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]
高功率脉冲磁控溅射,求大神指导
高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层,一个小时没镀上,求教可能的原因?
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1楼
2013-11-05 15:38:18
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materialian
新虫
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
检查铬靶表面生成氮化铬,中毒了?
用纯氩气溅射,清靶。
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14楼
2013-11-07 00:14:56
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wbcui
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专业: 金属功能材料
妹子的设备是哪里买的啊?
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2楼
2013-11-05 20:47:14
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minner__
金虫
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专业: 金属材料表面科学与工程
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2楼
:
Originally posted by
wbcui
at 2013-11-05 20:47:14
妹子的设备是哪里买的啊?
沈阳的
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坚持
3楼
2013-11-05 20:48:52
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wbcui
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3楼
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Originally posted by
minner__
at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的
沈科仪的么?
你的沉积速率多高啊?
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4楼
2013-11-05 21:04:58
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