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minner__

金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
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在线: 64.6小时
虫号: 1282166
注册: 2011-04-30
性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？

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坚持

1楼2013-11-05 15:38:18

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materialian

新虫 (初入文坛)

应助: 4 (幼儿园)
金币: 29.1
帖子: 6
在线: 1.5小时
虫号: 2765648
注册: 2013-10-30
专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

检查铬靶表面生成氮化铬，中毒了？
用纯氩气溅射，清靶。

14楼2013-11-07 00:14:56

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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