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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射,求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层,一个小时没镀上,求教可能的原因?
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坚持
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minner__

金虫 (小有名气)

引用回帖:
14楼: Originally posted by materialian at 2013-11-07 00:14:56
检查铬靶表面生成氮化铬,中毒了?
用纯氩气溅射,清靶。

靶表面确实跟之前做直流磁控溅射的靶不同。具体是不是中毒,我这个菜鸟也不知道。。。电源一开,靶表面就异常,不敢做了。
坚持
19楼2013-11-07 12:29:38
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

妹子的设备是哪里买的啊?
2楼2013-11-05 20:47:14
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minner__

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 20:47:14
妹子的设备是哪里买的啊?

沈阳的
坚持
3楼2013-11-05 20:48:52
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的

沈科仪的么?
你的沉积速率多高啊?
4楼2013-11-05 21:04:58
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