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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？
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坚持
1楼2013-11-05 15:38:18
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minner__

金虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by materialian at 2013-11-07 00:14:56
检查铬靶表面生成氮化铬，中毒了？
用纯氩气溅射，清靶。

靶表面确实跟之前做直流磁控溅射的靶不同。具体是不是中毒，我这个菜鸟也不知道。。。电源一开，靶表面就异常，不敢做了。
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坚持
19楼2013-11-07 12:29:38
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
妹子的设备是哪里买的啊？
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2楼2013-11-05 20:47:14
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minner__

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-05 20:47:14
妹子的设备是哪里买的啊？

沈阳的
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坚持
3楼2013-11-05 20:48:52
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:48:52
沈阳的

沈科仪的么？
你的沉积速率多高啊？
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4楼2013-11-05 21:04:58
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