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minner__

金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
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虫号: 1282166
注册: 2011-04-30
性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？

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坚持

1楼 2013-11-05 15:38:18

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

ddx4142

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 66 (初中生)
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在线: 636.5小时
虫号: 693350
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性别: GG
专业: 机械摩擦学与表面技术

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
minner__: 金币+5 2013-11-24 09:26:22

引用回帖:

5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题，以前镀得都还好，今天第一次用高功率脉冲做，参数比照文献设的，但感觉溅射时靶材亮度不对，还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗？我是刚开始做这个的菜鸟， ...

根据你的实验现象，靶材不够亮，不停闪。个人觉得可能是Ar气气压和电源功率不匹配导致，可以考虑增大氩气流量，同时增大电源功率。