24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

minner__

金虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1044.9
红花: 1
帖子: 136
在线: 64.6小时
虫号: 1282166
注册: 2011-04-30
性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？

回复此楼

» 猜你喜欢

热注入法制备硫化铅量子点，硫源六甲基二硅硫烷的取用问题已经有0人回复
江苏大学夏杰祥教授课题组——招收光电催化领域博士生已经有18人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有267人回复
江苏大学申请考核制博士招生已经有6人回复
江苏大学夏杰祥教授课题组——招收光催化领域博士生已经有0人回复
江苏大学夏杰祥教授课题组——招收光催化领域博士生已经有5人回复
求助 hua suan LAMMPS分子动力学：金属_聚合物专题课程的课件，已经有0人回复
26博士申请求助已经有2人回复

坚持

1楼2013-11-05 15:38:18

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

ddx4142

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 66 (初中生)
金币: 7847.6
散金: 81
红花: 6
帖子: 1527
在线: 636.5小时
虫号: 693350
注册: 2009-01-16
性别: GG
专业: 机械摩擦学与表面技术

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
minner__: 金币+5 2013-11-24 09:26:22

引用回帖:

5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题，以前镀得都还好，今天第一次用高功率脉冲做，参数比照文献设的，但感觉溅射时靶材亮度不对，还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗？我是刚开始做这个的菜鸟， ...

根据你的实验现象，靶材不够亮，不停闪。个人觉得可能是Ar气气压和电源功率不匹配导致，可以考虑增大氩气流量，同时增大电源功率。