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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导
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minner__

金虫 (小有名气)

[求助] 高功率脉冲磁控溅射，求大神指导

高功率脉冲磁控溅射沉积氮化铬涂层，一个小时没镀上，求教可能的原因？
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坚持
1楼2013-11-05 15:38:18
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ddx4142

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
minner__: 金币+5 2013-11-24 09:26:22
引用回帖:
5楼: Originally posted by minner__ at 2013-11-05 21:16:38
沈阳科友的。我这个应该不是仪器的问题，以前镀得都还好，今天第一次用高功率脉冲做，参数比照文献设的，但感觉溅射时靶材亮度不对，还不停闪。应该还是我参数设的不好。你对这方面懂吗？我是刚开始做这个的菜鸟， ...

根据你的实验现象，靶材不够亮，不停闪。个人觉得可能是Ar气气压和电源功率不匹配导致，可以考虑增大氩气流量，同时增大电源功率。
赞一下 回复此楼
24楼2013-11-12 21:32:46
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