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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 磁控溅射TiN的颜色问题
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大树乐事

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射TiN的颜色问题

Sample Text反应直流磁控溅射的TiN膜总是金属蓝灰色 是不是Ti没有跟N反应 如何改变工艺参数 使得两者充分反应呢
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哈哈
1楼 2013-08-20 11:00:53
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:09
增加N2的流量试试！
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大树乐事
2楼2013-08-21 00:29:36
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大树乐事

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by mzhuxust at 2013-08-21 00:29:36
增加N2的流量试试！

氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了
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哈哈
3楼2013-08-21 09:05:50
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 欢迎常来本版交流，感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:48
大树乐事: 金币+2, ★有帮助, 呵呵 2013-08-23 10:45:43
引用回帖:
3楼: Originally posted by 大树乐事 at 2013-08-21 09:05:50
氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了...

氩气流量太大了。
Ar/N2=100/80试试看，另外，气压降到0.5Pa。
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4楼2013-08-21 11:44:45
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大树乐事

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by qwcmos at 2013-08-21 11:44:45
氩气流量太大了。
Ar/N2=100/80试试看，另外，气压降到0.5Pa。...

我试试 但是怕起不了辉，因为Ar200的时候就不好起辉了
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5楼2013-08-23 10:45:00
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hululu85

铁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
6楼2013-08-26 14:30:58
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 大树乐事 at 2013-08-23 10:45:00
我试试 但是怕起不了辉，因为Ar200的时候就不好起辉了...

。。。。
起辉气压在2-5 Pa之间，起辉之后再把气压将下来（0.5Pa）。
试试看吧~
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7楼2013-08-27 11:29:31
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九品墨徒

银虫 (正式写手)

不是版主

【答案】应助回帖

★ ★ ★
大树乐事: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-09-11 11:37:32
流量太大，还没来得及反应沉积呢就被抽走了。先调节闸板阀或者流量到2-5Pa起辉，然后调节到低压，比如0.5-0.8Pa，流量也小点。100sccm以内试试。
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8楼2013-08-27 19:44:26
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

上述都搞不定就认真清洗真空室。
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9楼2013-08-27 21:56:22
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