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大树乐事

铁虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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专业: 无机非金属类光电信息与功

[求助] 磁控溅射TiN的颜色问题

Sample Text反应直流磁控溅射的TiN膜总是金属蓝灰色是不是Ti没有跟N反应如何改变工艺参数使得两者充分反应呢

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哈哈

1楼 2013-08-20 11:00:53

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mzhuxust

木虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

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314977903: 金币+1, 感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:09

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大树乐事

2楼2013-08-21 00:29:36

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