应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 磁控溅射TiN的颜色问题
91/1返回列表
查看: 2685  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

大树乐事

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射TiN的颜色问题

Sample Text反应直流磁控溅射的TiN膜总是金属蓝灰色 是不是Ti没有跟N反应 如何改变工艺参数 使得两者充分反应呢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
哈哈
1楼 2013-08-20 11:00:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:09
增加N2的流量试试！
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

大树乐事
2楼2013-08-21 00:29:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大树乐事

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by mzhuxust at 2013-08-21 00:29:36
增加N2的流量试试！

氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了
赞一下 回复此楼
哈哈
3楼2013-08-21 09:05:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 欢迎常来本版交流，感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:48
大树乐事: 金币+2, ★有帮助, 呵呵 2013-08-23 10:45:43
引用回帖:
3楼: Originally posted by 大树乐事 at 2013-08-21 09:05:50
氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了...

氩气流量太大了。
Ar/N2=100/80试试看，另外，气压降到0.5Pa。
赞一下 回复此楼
4楼2013-08-21 11:44:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大树乐事

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by qwcmos at 2013-08-21 11:44:45
氩气流量太大了。
Ar/N2=100/80试试看，另外，气压降到0.5Pa。...

我试试 但是怕起不了辉，因为Ar200的时候就不好起辉了
赞一下 回复此楼
哈哈
5楼2013-08-23 10:45:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hululu85

铁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
6楼2013-08-26 14:30:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by 大树乐事 at 2013-08-23 10:45:00
我试试 但是怕起不了辉，因为Ar200的时候就不好起辉了...

。。。。
起辉气压在2-5 Pa之间，起辉之后再把气压将下来（0.5Pa）。
试试看吧~
赞一下 回复此楼
7楼2013-08-27 11:29:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

九品墨徒

银虫 (正式写手)

不是版主

【答案】应助回帖

★ ★ ★
大树乐事: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-09-11 11:37:32
流量太大，还没来得及反应沉积呢就被抽走了。先调节闸板阀或者流量到2-5Pa起辉，然后调节到低压，比如0.5-0.8Pa，流量也小点。100sccm以内试试。
赞一下 回复此楼
8楼2013-08-27 19:44:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

上述都搞不定就认真清洗真空室。
赞一下 回复此楼
9楼2013-08-27 21:56:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 大树乐事 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿西北工业大学289 085602 +31 yang婷 2026-04-10 31/1550 2026-04-11 00:19 by gong120082
[考研] 药学专硕调剂 +6 ? 一路生?花? 2026-04-10 7/350 2026-04-10 21:08 by zhouxiaoyu
[考研] 化工调剂求导师收留！一志愿失利，踏实肯干，有植物提取科研经历 +17 yzyzx 2026-04-09 17/850 2026-04-10 10:29 by wp06
[考研] 一志愿华中农微生物，288分，三年实验经历 +10 代fish 2026-04-09 10/500 2026-04-10 09:49 by potato妹
[考研] 0703化学求调剂 +21 不知名的小卅 2026-04-08 21/1050 2026-04-09 18:55 by l_paradox
[考研] 332，085601求调剂 +12 ydfyh 2026-04-09 14/700 2026-04-09 17:28 by wp06
[硕博家园] 有没有学校材料专业收跨调(一志愿085410) +5 momo(上岸版) 2026-04-06 8/400 2026-04-09 15:07 by only周
[考研] 308求调剂 +17 墨墨漠 2026-04-06 17/850 2026-04-09 09:25 by 壹往無前
[考研] 一志愿0807 数一英一 313 有没有二轮调剂 +11 emokidd 2026-04-08 12/600 2026-04-09 09:24 by wyf236
[考研] 085404，334分，求调剂 +5 sunjie8888 2026-04-08 8/400 2026-04-09 07:26 by sunjie8888
[考研] 专硕0854初试考材科基，求调剂 +7 3220548044 2026-04-06 10/500 2026-04-08 21:59 by hypershenger
[考研] 软件工程求调剂22软工296分求调剂，接受跨调 +4 yangchen2017 2026-04-08 5/250 2026-04-08 21:56 by 土木硕士招生
[考研] 一志愿南昌大学，085600，344分求调剂 +11 调剂上岸玘 2026-04-05 12/600 2026-04-08 16:17 by luoyongfeng
[考研] 304求调剂 +10 素年祭语 2026-04-06 17/850 2026-04-08 09:05 by 蓝云思雨
[考研] 283分求调剂 +14 试试看呗 2026-04-04 14/700 2026-04-08 07:03 by lijunpoly
[考研] 求考研材料调剂 +3 材化李可 2026-04-07 3/150 2026-04-08 00:21 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +3 所念及所望 2026-04-06 3/150 2026-04-06 17:30 by 土木硕士招生
[考研] 第一志愿东南大学物理313，有科研竞赛获奖经历，希望物理复试调剂 +3 马内橙 2026-04-05 3/150 2026-04-06 10:32 by 蓝云思雨
[考研] 材料调剂 +14 壹贰贰亿 2026-04-04 14/700 2026-04-05 23:31 by 来看流星雨10
[考研] 326求调剂 +3 顾若浮生 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:32 by 蓝云思雨
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭