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大树乐事

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射TiN的颜色问题

Sample Text反应直流磁控溅射的TiN膜总是金属蓝灰色 是不是Ti没有跟N反应 如何改变工艺参数 使得两者充分反应呢
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
314977903: 金币+1, 欢迎常来本版交流,感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:48
大树乐事: 金币+2, 有帮助, 呵呵 2013-08-23 10:45:43
引用回帖:
3楼: Originally posted by 大树乐事 at 2013-08-21 09:05:50
氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了...

氩气流量太大了。
Ar/N2=100/80试试看,另外,气压降到0.5Pa。
4楼2013-08-21 11:44:45
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:09
增加N2的流量试试!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2013-08-21 00:29:36
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大树乐事

铁虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by mzhuxust at 2013-08-21 00:29:36
增加N2的流量试试!

氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了
哈哈
3楼2013-08-21 09:05:50
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大树乐事

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by qwcmos at 2013-08-21 11:44:45
氩气流量太大了。
Ar/N2=100/80试试看,另外,气压降到0.5Pa。...

我试试 但是怕起不了辉,因为Ar200的时候就不好起辉了
哈哈
5楼2013-08-23 10:45:00
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