应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 磁控溅射TiN的颜色问题
51/1返回列表
查看: 2529  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

大树乐事

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射TiN的颜色问题

Sample Text反应直流磁控溅射的TiN膜总是金属蓝灰色 是不是Ti没有跟N反应 如何改变工艺参数 使得两者充分反应呢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
哈哈
1楼 2013-08-20 11:00:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hululu85

铁虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
6楼2013-08-26 14:30:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:09
增加N2的流量试试！
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

大树乐事
2楼2013-08-21 00:29:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大树乐事

铁虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by mzhuxust at 2013-08-21 00:29:36
增加N2的流量试试！

氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了
赞一下 回复此楼
哈哈
3楼2013-08-21 09:05:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 欢迎常来本版交流，感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:48
大树乐事: 金币+2, ★有帮助, 呵呵 2013-08-23 10:45:43
引用回帖:
3楼: Originally posted by 大树乐事 at 2013-08-21 09:05:50
氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了...

氩气流量太大了。
Ar/N2=100/80试试看，另外，气压降到0.5Pa。
赞一下 回复此楼
4楼2013-08-21 11:44:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭