24小时热门版块排行榜    

查看: 2943  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

大树乐事

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射TiN的颜色问题

Sample Text反应直流磁控溅射的TiN膜总是金属蓝灰色 是不是Ti没有跟N反应 如何改变工艺参数 使得两者充分反应呢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

哈哈
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hululu85

铁虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

6楼2013-08-26 14:30:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:09
增加N2的流量试试!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2013-08-21 00:29:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大树乐事

铁虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by mzhuxust at 2013-08-21 00:29:36
增加N2的流量试试!

氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了
哈哈
3楼2013-08-21 09:05:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
314977903: 金币+1, 欢迎常来本版交流,感谢参与应助~ 2013-08-21 18:29:48
大树乐事: 金币+2, 有帮助, 呵呵 2013-08-23 10:45:43
引用回帖:
3楼: Originally posted by 大树乐事 at 2013-08-21 09:05:50
氩气流量200 氮气80 工作压力0.8 溅射功率250 我觉得氮气流量已经挺高的了...

氩气流量太大了。
Ar/N2=100/80试试看,另外,气压降到0.5Pa。
4楼2013-08-21 11:44:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[博后之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 5/250 2026-08-23 04:07 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 4/200 2026-08-23 03:55 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 7/350 2026-08-23 03:55 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 7/350 2026-08-23 03:43 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 6/300 2026-08-23 03:40 by OEbVnUOu01ol
[考博] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 3/150 2026-08-23 00:55 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 什么时候开奖? +7 CrisMessi 2026-08-18 8/400 2026-08-22 18:29 by 淀粉搬运工
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 今天放榜吗? +14 布布和一二 2026-08-19 15/750 2026-08-19 18:07 by gltch
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
请填处理意见