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磁控溅射TiN的颜色问题
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磁控溅射TiN的颜色问题
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反应直流磁控溅射的TiN膜总是金属蓝灰色 是不是Ti没有跟N反应 如何改变工艺参数 使得两者充分反应呢
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1楼
2013-08-20 11:00:53
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2013-08-26 14:30:58
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