24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

meteorabob

铜虫 (正式写手)

应助: 23 (小学生)
金币: 15
帖子: 605
在线: 377.5小时
虫号: 1063234

[交流] 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！

请问磁控溅射时，气压和功率的大小与生长的薄膜质量的关系是什么？
还有一个问题是：功率大小对应磁控溅射中的哪一个条件？是Ar+离子的速度？还是Ar+离子的数量？
谢谢大家！

回复此楼

» 猜你喜欢

2025冷门绝学什么时候出结果已经有3人回复
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入已经有4人回复
康复大学泰山学者周祺惠团队招收博士研究生已经有6人回复
AI论文写作工具：是科研加速器还是学术作弊器？已经有3人回复
孩子确诊有中度注意力缺陷已经有6人回复
2026博士申请-功能高分子，水凝胶方向已经有6人回复
论文投稿，期刊推荐已经有4人回复
硕士和导师闹得不愉快已经有13人回复
请问2026国家基金面上项目会启动申2停1吗已经有5人回复
同一篇文章，用不同账号投稿对编辑决定是否送审有没有影响？已经有3人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

DC磁控溅射是什么种类？磁控溅射法镀膜，膜的厚度怎么测量已经有8人回复
磁控溅射曲面工件膜厚均匀性已经有3人回复
磁控溅射镀膜气压低时无法起辉已经有8人回复
求助，用氮气作为保护气体，给薄膜退火已经有6人回复
磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！已经有5人回复
请问大家，溅射时的功率密度该怎么选择呢？已经有12人回复
磁控溅射ZnO薄膜电阻太大已经有19人回复
高功率脉冲磁控溅射，求大神指导已经有33人回复
磁控溅射能做出金属镁薄膜吗已经有6人回复
磁控溅射的分子泵真空抽不上去已经有23人回复
关于磁控溅射镀膜设备的问题已经有4人回复
请教一个关于磁控溅射的问题在靶材上贴片已经有16人回复
求教一个磁控溅射的问题相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！已经有13人回复
磁控溅射的功率密度已经有7人回复
对靶直流磁控溅射制备ZAO膜打火严重已经有6人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？已经有13人回复
磁控溅射ZnO薄膜，出来是黑灰色的，求教已经有12人回复
磁控溅射镀不上去膜！！已经有14人回复
[求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上已经有11人回复
薄膜的生长问题已经有21人回复
直流磁控溅射的仪器大概要多少钱呀已经有4人回复
磁控溅射做薄膜失败了吗已经有21人回复
磁控溅射AlN薄膜电极材料已经有3人回复
【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源已经有21人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:
查看全部散金贴

1楼2012-05-02 10:29:56

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

xaifei

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1390.8
帖子: 95
在线: 59.9小时
虫号: 1448266

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

7楼: Originally posted by nanodot at 2012-05-05 09:22:43
为了保护分子泵，一般工作气压是要小10Pa的。只要真空腔内有其它物质肯定有微量的掺杂，这是可以忽略不计的。工作气压的大小对沉积速率是有一定影响的，有一个最大值，你可以根据你的材料和你实验的其它条件测出这 ...

根据你说的意思可能是指真空室里面的气体分压，举个例子，比如我用磁控溅射渡CrN，当腔体里的Ar：N2比偏大时，那么电离之后分子碰撞的自由程变大，这样导致溅射出来电离原子的能量损失就更大，从而薄膜的质量偏低，还有你说的功率大会导致离子的数量增加，因为功率大靶材的溅射会增加，离子数会增加的，不知道我的回答你是否满意，谢谢！