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tanaguditana

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[求助] 磁控溅射ZnO薄膜，出来是黑灰色的，求教

大家好！想请教一个问题。我做出来的ZnO薄膜是黑灰色的，怎么回事啊？
直流反应磁控溅射，用的Zn靶，溅射电流0.7安培，电压在266-285V之间，本底气压3e-3Pa，工作气压1Pa，偏压75V，预溅射5分钟，溅射时间2小时:基底是Corning玻璃，基底温度200度。Ar与O2比为2比1
我用一个旧的Zn靶和一个新的Zn靶做出来都是黑灰色的，应该不是靶的问题吧。玻璃基底也按丙酮乙醇去离子水三步清洗了。之前别人用同一台设备镀过Al和AZO。

求教！！

[ Last edited by tanaguditana on 2013-4-11 at 10:34 ]

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1楼 2013-04-10 18:01:17

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qwcmos

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
tanaguditana: 金币+10, ★有帮助, 非常感谢您的帮助，我再去多做几次实验试试 2013-05-23 09:32:50

为什么不用ZnO target呢？
膜是黑灰色的，个人认为是氧量不足造成的。
好像是缺氧状态的ZnO是黑灰色的。
Ar/O2=2,1.5,1试试看。
还有，工作气压有点高，0.5Pa试试看。

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2楼2013-05-16 11:28:09

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westwolf

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引用回帖:

2楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-16 11:28:09
为什么不用ZnO target呢？
膜是黑灰色的，个人认为是氧量不足造成的。
好像是缺氧状态的ZnO是黑灰色的。
Ar/O2=2,1.5,1试试看。
还有，工作气压有点高，0.5Pa试试看。

有道理！

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3楼2013-05-16 13:33:17

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