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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 磁控溅射ZnO薄膜，出来是黑灰色的，求教
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tanaguditana

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射ZnO薄膜，出来是黑灰色的，求教

大家好！想请教一个问题。我做出来的ZnO薄膜是黑灰色的，怎么回事啊？
直流反应磁控溅射，用的Zn靶，溅射电流0.7安培，电压在266-285V之间，本底气压3e-3Pa，工作气压1Pa，偏压75V，预溅射5分钟，溅射时间2小时:基底是Corning玻璃，基底温度200度。Ar与O2比为2比1
我用一个旧的Zn靶和一个新的Zn靶做出来都是黑灰色的，应该不是靶的问题吧。玻璃基底也按丙酮乙醇去离子水三步清洗了。之前别人用同一台设备镀过Al和AZO。

求教！！

[ Last edited by tanaguditana on 2013-4-11 at 10:34 ]
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1楼 2013-04-10 18:01:17
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
tanaguditana: 金币+10, ★有帮助, 非常感谢您的帮助，我再去多做几次实验试试 2013-05-23 09:32:50
为什么不用ZnO target呢？
膜是黑灰色的，个人认为是氧量不足造成的。
好像是缺氧状态的ZnO是黑灰色的。
Ar/O2=2,1.5,1试试看。
还有，工作气压有点高，0.5Pa试试看。
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2楼2013-05-16 11:28:09
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普通回帖

westwolf

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-16 11:28:09
为什么不用ZnO target呢？
膜是黑灰色的，个人认为是氧量不足造成的。
好像是缺氧状态的ZnO是黑灰色的。
Ar/O2=2,1.5,1试试看。
还有，工作气压有点高，0.5Pa试试看。

有道理！
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3楼2013-05-16 13:33:17
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tanaguditana

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-16 11:28:09
为什么不用ZnO target呢？
膜是黑灰色的，个人认为是氧量不足造成的。
好像是缺氧状态的ZnO是黑灰色的。
Ar/O2=2,1.5,1试试看。
还有，工作气压有点高，0.5Pa试试看。

请问如果做出来的ZnO是淡黄色的，是因为什么原子进入了ZnO薄膜里面呢？
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4楼2013-05-23 16:03:35
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qwcmos

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by tanaguditana at 2013-05-23 16:03:35
请问如果做出来的ZnO是淡黄色的，是因为什么原子进入了ZnO薄膜里面呢？...

淡黄色？
这个真不好说，你的衬底是玻璃，有没有可能是光反射造成的？
我周一也做ZnO，我找个玻璃沉底试试看。
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5楼2013-05-25 23:03:34
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tanaguditana

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-25 23:03:34
淡黄色？
这个真不好说，你的衬底是玻璃，有没有可能是光反射造成的？
我周一也做ZnO，我找个玻璃沉底试试看。...

谢谢您。我最近做了几次实验，发现靶如果两面都溅射过，做出来结果就不好，要么就是黑灰色，要么就是白灰色。我用一个比较好的只做过一面的靶，溅射出来的结果比以前好了，颜色就是淡黄色较透明的，跟师兄他们做出来的颜色差不多，比他们的脏一点。
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6楼2013-05-26 09:52:40
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tanaguditana

新虫 (初入文坛)
我以后再去试试改变氧分压和工作压强。
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7楼2013-05-26 09:55:06
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qwcmos

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by tanaguditana at 2013-05-26 09:55:06
我以后再去试试改变氧分压和工作压强。

我今天用DC做的，5nm，15nm，25nm，颜色是淡淡的黄色，透光性很好。
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8楼2013-05-27 08:32:44
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tanaguditana

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-27 08:32:44
我今天用DC做的，5nm，15nm，25nm，颜色是淡淡的黄色，透光性很好。...

哦，谢谢。我做的厚度大概2um，时间2个半小时，颜色也是淡黄色，就是表面很脏。
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9楼2013-05-27 14:17:13
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huangxutom

新虫 (小有名气)
请问你们使用的corning玻璃的型号是什么？如何购买的？
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10楼2013-10-23 17:00:21
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