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tanaguditana新虫 (初入文坛)
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[求助]
磁控溅射ZnO薄膜，出来是黑灰色的，求教
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大家好！想请教一个问题。我做出来的ZnO薄膜是黑灰色的，怎么回事啊？ 直流反应磁控溅射，用的Zn靶，溅射电流0.7安培，电压在266-285V之间，本底气压3e-3Pa，工作气压1Pa，偏压75V，预溅射5分钟，溅射时间2小时:基底是Corning玻璃，基底温度200度。Ar与O2比为2比1 我用一个旧的Zn靶和一个新的Zn靶做出来都是黑灰色的，应该不是靶的问题吧。玻璃基底也按丙酮乙醇去离子水三步清洗了。之前别人用同一台设备镀过Al和AZO。 求教！！   [ Last edited by tanaguditana on 2013-4-11 at 10:34 ] |
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5楼2013-05-25 23:03:34
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westwolf
木虫 (著名写手)
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tanaguditana
新虫 (初入文坛)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2013-05-23 16:03:35
50