| 查看: 2581 | 回复: 12 | ||
tanaguditana新虫 (初入文坛)
|
[求助]
磁控溅射ZnO薄膜，出来是黑灰色的，求教
|
|
|
大家好！想请教一个问题。我做出来的ZnO薄膜是黑灰色的，怎么回事啊？ 直流反应磁控溅射，用的Zn靶，溅射电流0.7安培，电压在266-285V之间，本底气压3e-3Pa，工作气压1Pa，偏压75V，预溅射5分钟，溅射时间2小时:基底是Corning玻璃，基底温度200度。Ar与O2比为2比1 我用一个旧的Zn靶和一个新的Zn靶做出来都是黑灰色的，应该不是靶的问题吧。玻璃基底也按丙酮乙醇去离子水三步清洗了。之前别人用同一台设备镀过Al和AZO。 求教！！   [ Last edited by tanaguditana on 2013-4-11 at 10:34 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有195人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有2人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 拉曼光谱仪测试磁控溅射薄膜求教
已经有17人回复
- 磁控溅射在玻璃片上镀了一层AZO薄膜，如何表征
已经有12人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
已经有15人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？
已经有6人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】磁控溅射做CIGS薄膜太阳能电池
已经有12人回复
2楼2013-05-16 11:28:09
westwolf
木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 贵宾: 2.5
- 金币: 3732.4
- 散金: 954
- 红花: 5
- 帖子: 1338
- 在线: 55.4小时
- 虫号: 120650
- 注册: 2005-12-03
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
3楼2013-05-16 13:33:17
tanaguditana
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 22.5
- 帖子: 13
- 在线: 6.4小时
- 虫号: 2249475
- 注册: 2013-01-19
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2013-05-23 16:03:35
5楼2013-05-25 23:03:34
tanaguditana
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 22.5
- 帖子: 13
- 在线: 6.4小时
- 虫号: 2249475
- 注册: 2013-01-19
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
6楼2013-05-26 09:52:40
tanaguditana
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 22.5
- 帖子: 13
- 在线: 6.4小时
- 虫号: 2249475
- 注册: 2013-01-19
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
7楼2013-05-26 09:55:06
8楼2013-05-27 08:32:44
tanaguditana
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 22.5
- 帖子: 13
- 在线: 6.4小时
- 虫号: 2249475
- 注册: 2013-01-19
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
9楼2013-05-27 14:17:13
huangxutom
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 491.1
- 帖子: 108
- 在线: 15.8小时
- 虫号: 2294118
- 注册: 2013-02-22
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
10楼2013-10-23 17:00:21
10