24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

meteorabob

铜虫 (正式写手)

应助: 23 (小学生)
金币: 15
帖子: 605
在线: 377.5小时
虫号: 1063234

[交流] 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！

请问磁控溅射时，气压和功率的大小与生长的薄膜质量的关系是什么？
还有一个问题是：功率大小对应磁控溅射中的哪一个条件？是Ar+离子的速度？还是Ar+离子的数量？
谢谢大家！

回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

DC磁控溅射是什么种类？磁控溅射法镀膜，膜的厚度怎么测量已经有8人回复
磁控溅射曲面工件膜厚均匀性已经有3人回复
磁控溅射镀膜气压低时无法起辉已经有8人回复
求助，用氮气作为保护气体，给薄膜退火已经有6人回复
磁控溅射时RF溅射起辉1到2分钟就有很大的反馈功率，求解！已经有5人回复
请问大家，溅射时的功率密度该怎么选择呢？已经有12人回复
磁控溅射ZnO薄膜电阻太大已经有19人回复
高功率脉冲磁控溅射，求大神指导已经有33人回复
磁控溅射能做出金属镁薄膜吗已经有6人回复
磁控溅射的分子泵真空抽不上去已经有23人回复
关于磁控溅射镀膜设备的问题已经有4人回复
请教一个关于磁控溅射的问题在靶材上贴片已经有16人回复
求教一个磁控溅射的问题相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！已经有13人回复
磁控溅射的功率密度已经有7人回复
对靶直流磁控溅射制备ZAO膜打火严重已经有6人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？已经有13人回复
磁控溅射ZnO薄膜，出来是黑灰色的，求教已经有12人回复
磁控溅射镀不上去膜！！已经有14人回复
[求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上已经有11人回复
薄膜的生长问题已经有21人回复
直流磁控溅射的仪器大概要多少钱呀已经有4人回复
磁控溅射做薄膜失败了吗已经有21人回复
磁控溅射AlN薄膜电极材料已经有3人回复
【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源已经有21人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2012-05-02 10:29:56

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 5231.4
帖子: 1385
在线: 318.2小时
虫号: 910530

★ ★
meteorabob(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-05 07:43:35

功率影响的是Ar+离子的速度

赞一下