应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射曲面工件膜厚均匀性
41/1返回列表
查看: 1109  |  回复: 3
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射曲面工件膜厚均匀性已有1人参与

工件是三分之一柱面的玻璃，用磁控溅射方法在其内表面镀金属铱，
但曲面会引起不同部分的靶基距不同。
想请教一下大家，用什么方法可以提高膜的均匀性？
谢谢大家！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼2014-09-10 22:31:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
使用旋转靶材，让工件和靶材同圆心，并且靶材不断在自转。
赞一下 回复此楼
2楼2014-09-11 11:10:57
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-11 11:10:57
使用旋转靶材，让工件和靶材同圆心，并且靶材不断在自转。

你的意思是用那种处于轴心的长条靶材，工件处于圆周位置，靶材自转？
我们的镀膜机是矩形靶在下方，工件固定在上方，工件可以自转。
我的担心是在于工件有弧度，柱面底部与边缘的靶基距不一样，这样会不会造成膜厚不均啊？
赞一下 回复此楼
3楼2014-09-11 21:47:28
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by FLYFWY at 2014-09-11 21:47:28
你的意思是用那种处于轴心的长条靶材，工件处于圆周位置，靶材自转？
我们的镀膜机是矩形靶在下方，工件固定在上方，工件可以自转。
我的担心是在于工件有弧度，柱面底部与边缘的靶基距不一样，这样会不会造成膜 ...

我说的不是长条形靶材，而是圆柱状的旋转靶材。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-09-11 22:29:34
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 FLYFWY 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭