24小时热门版块排行榜    

查看: 1168  |  回复: 3

FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射曲面工件膜厚均匀性 已有1人参与

工件是三分之一柱面的玻璃,用磁控溅射方法在其内表面镀金属铱,
但曲面会引起不同部分的靶基距不同。
想请教一下大家,用什么方法可以提高膜的均匀性?
谢谢大家!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
使用旋转靶材,让工件和靶材同圆心,并且靶材不断在自转。
2楼2014-09-11 11:10:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-09-11 11:10:57
使用旋转靶材,让工件和靶材同圆心,并且靶材不断在自转。

你的意思是用那种处于轴心的长条靶材,工件处于圆周位置,靶材自转?
我们的镀膜机是矩形靶在下方,工件固定在上方,工件可以自转。
我的担心是在于工件有弧度,柱面底部与边缘的靶基距不一样,这样会不会造成膜厚不均啊?
3楼2014-09-11 21:47:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by FLYFWY at 2014-09-11 21:47:28
你的意思是用那种处于轴心的长条靶材,工件处于圆周位置,靶材自转?
我们的镀膜机是矩形靶在下方,工件固定在上方,工件可以自转。
我的担心是在于工件有弧度,柱面底部与边缘的靶基距不一样,这样会不会造成膜 ...

我说的不是长条形靶材,而是圆柱状的旋转靶材。
4楼2014-09-11 22:29:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 FLYFWY 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0854可跨调剂,一作一项核心论文五项专利,省、国级证书40+数一英一287 +3 小李0854 2026-03-16 3/150 2026-03-17 13:40 by 热情沙漠
[考研] 268求调剂 +7 一定有学上- 2026-03-14 8/400 2026-03-17 13:10 by zz820
[考研] 301求调剂 +3 A_JiXing 2026-03-16 3/150 2026-03-17 08:21 by 无际的草原
[考研] 一志愿,福州大学材料专硕339分求调剂 +3 木子momo青争 2026-03-15 3/150 2026-03-17 07:52 by laoshidan
[考研] 274求调剂 +5 时间点 2026-03-13 5/250 2026-03-17 07:34 by 热情沙漠
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
[考研] 312求调剂 +3 陌宸希 2026-03-16 4/200 2026-03-16 15:06 by peike
[考研] 0703,333分求调剂 一志愿郑州大学-物理化学 +3 李魔女斗篷 2026-03-11 3/150 2026-03-13 22:24 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工求调剂一志愿 985 总分 295 +8 dream…… 2026-03-12 8/400 2026-03-13 22:17 by 星空星月
[考研] 求材料调剂 +5 隔壁陈先生 2026-03-12 5/250 2026-03-13 22:03 by 星空星月
[考研] 333求调剂 +3 球球古力 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:27 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
[考研] 0703化学求调剂 +7 绿豆芹菜汤 2026-03-12 7/350 2026-03-13 17:25 by njzyff
[考研] 274求调剂 +3 S.H1 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:15 by JourneyLucky
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
[考研] 277求调剂 +4 anchor17 2026-03-12 4/200 2026-03-13 11:15 by 白夜悠长
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 290求调剂 +3 柯淮然 2026-03-10 8/400 2026-03-11 13:48 by 柯淮然
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
信息提示
请填处理意见