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liuyuexue

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[求助] 薄膜的生长问题

为什么用磁控溅射长的纳米薄膜，有的长成柱状，有的是层状，比如，面心立方的Ag是层状，体心立方的V是柱状的，Ag的功率是100W沉积速率20nm每分，V是200w,沉积速率4nm每分，可是跟功率好像没关系，因为Ag的功率是20、40、60 w 的时候也是层状，V的功率是40、60、140 w的时候也是柱状，难道跟晶体结构有关还是其他的，各位高人，帮帮忙想想啊

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tomorrowisanotherday

1楼2012-06-25 18:55:27

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wu1008

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【答案】应助回帖

引用回帖:

8楼: Originally posted by liuyuexue at 2012-07-14 17:31:07
可是我的样品Ag(fcc)的沉积速率比V（bcc）的还大很多，照理说沉积越快越易呈岛状/柱状生长，可是我的Ag是层状生长的，V是柱状生长的，我觉得是不是面心的容易长成层状，体心的易呈柱状，还有Ag膜是（111）面沿生长 ...

很难说沉积越快越易呈岛状/柱状生长，这跟分子在基片上移动的势垒有关

面心的容易长成层状，这个就更加是武断的推论。要比较两种材料的生长模式是很困难的，除非你有大量的不同材料的观察结果，就凭Ag跟V下这样的结论，是绝对站不住脚的。即使是同一种材料，在不同的生长条件下，生长模式也是很不一样的