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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 薄膜的生长问题
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liuyuexue

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜的生长问题

为什么用磁控溅射长的纳米薄膜，有的长成柱状，有的是层状，比如，面心立方的Ag是层状，体心立方的V是柱状的，Ag的功率是100W沉积速率20nm每分，V是200w,沉积速率4nm每分，可是跟功率好像没关系，因为Ag的功率是20、40、60 w 的时候也是层状，V的功率是40、60、140 w的时候也是柱状，难道跟晶体结构有关还是其他的，各位高人，帮帮忙想想啊
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tomorrowisanotherday
1楼 2012-06-25 18:55:27
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by liuyuexue at 2012-07-14 17:31:07
可是我的样品Ag(fcc)的沉积速率比V（bcc）的还大很多，照理说沉积越快越易呈岛状/柱状生长，可是我的Ag是层状生长的，V是柱状生长的，我觉得是不是面心的容易长成层状，体心的易呈柱状，还有Ag膜是（111）面沿生长 ...

很难说沉积越快越易呈岛状/柱状生长，这跟分子在基片上移动的势垒有关

面心的容易长成层状，这个就更加是武断的推论。要比较两种材料的生长模式是很困难的，除非你有大量的不同材料的观察结果，就凭Ag跟V下这样的结论，是绝对站不住脚的。即使是同一种材料，在不同的生长条件下，生长模式也是很不一样的
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10楼2012-07-14 22:05:07
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普通回帖

lingyuandage

木虫 (职业作家)

远

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先可以肯定的是跟膜厚度有关
其次跟沉积速率有关
其他的，书不在身边不大记得了
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TheincurablePisces.
2楼2012-06-25 19:42:01
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liuyuexue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lingyuandage at 2012-06-25 19:42:01
首先可以肯定的是跟膜厚度有关
其次跟沉积速率有关
其他的，书不在身边不大记得了

那您还记不记得是什么书啊？我想找原因，就是不知道什么书上有
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tomorrowisanotherday
3楼2012-06-26 08:56:04
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lingyuandage

木虫 (职业作家)

远
引用回帖:
3楼: Originally posted by liuyuexue at 2012-06-26 08:56:04
那您还记不记得是什么书啊？我想找原因，就是不知道什么书上有...

薄膜技术，本科期间选修课的教材
书讲的比较浅，主要是看引文和课件
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TheincurablePisces.
4楼2012-06-26 09:03:18
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xudhong

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我想和它的晶体结构有关，可能与沉积时间有关吧
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5楼2012-07-13 15:23:59
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xudhong

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你看下结晶学这本书和薄膜制备好像上面有
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6楼2012-07-13 15:24:56
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-07-14 11:59:18
这个跟沉积速率、晶面能、基片温度。。。。。一大堆东西有关，不能一概而论，很难泛泛而谈。
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7楼2012-07-14 10:21:05
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liuyuexue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by wu1008 at 2012-07-14 10:21:05
这个跟沉积速率、晶面能、基片温度。。。。。一大堆东西有关，不能一概而论，很难泛泛而谈。

可是我的样品Ag(fcc)的沉积速率比V（bcc）的还大很多，照理说沉积越快越易呈岛状/柱状生长，可是我的Ag是层状生长的，V是柱状生长的，我觉得是不是面心的容易长成层状，体心的易呈柱状，还有Ag膜是（111）面沿生长方向铺开的，V是（110）面。
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tomorrowisanotherday
8楼2012-07-14 17:31:07
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liuyuexue

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by xudhong at 2012-07-13 15:23:59
我想和它的晶体结构有关，可能与沉积时间有关吧

我也这么认为，可是要写文章找不到相关文献可以引用，
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tomorrowisanotherday
9楼2012-07-14 18:16:55
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