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liuyuexue金虫 (小有名气)
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薄膜的生长问题
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| 为什么用磁控溅射长的纳米薄膜,有的长成柱状,有的是层状,比如,面心立方的Ag是层状,体心立方的V是柱状的,Ag的功率是100W沉积速率20nm每分,V是200w,沉积速率4nm每分,可是跟功率好像没关系,因为Ag的功率是20、40、60 w 的时候也是层状,V的功率是40、60、140 w的时候也是柱状,难道跟晶体结构有关还是其他的,各位高人,帮帮忙想想啊 |
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lingyuandage
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4楼2012-06-26 09:03:18
lingyuandage
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2楼2012-06-25 19:42:01
liuyuexue
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