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liuyuexue

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜的生长问题

为什么用磁控溅射长的纳米薄膜,有的长成柱状,有的是层状,比如,面心立方的Ag是层状,体心立方的V是柱状的,Ag的功率是100W沉积速率20nm每分,V是200w,沉积速率4nm每分,可是跟功率好像没关系,因为Ag的功率是20、40、60 w 的时候也是层状,V的功率是40、60、140 w的时候也是柱状,难道跟晶体结构有关还是其他的,各位高人,帮帮忙想想啊
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tomorrowisanotherday
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liuyuexue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by wu1008 at 2012-07-14 10:21:05
这个跟沉积速率、晶面能、基片温度。。。。。一大堆东西有关,不能一概而论,很难泛泛而谈。

可是我的样品Ag(fcc)的沉积速率比V(bcc)的还大很多,照理说沉积越快越易呈岛状/柱状生长,可是我的Ag是层状生长的,V是柱状生长的,我觉得是不是面心的容易长成层状,体心的易呈柱状,还有Ag膜是(111)面沿生长方向铺开的,V是(110)面。
tomorrowisanotherday
8楼2012-07-14 17:31:07
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lingyuandage

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先可以肯定的是跟膜厚度有关
其次跟沉积速率有关
其他的,书不在身边不大记得了
TheincurablePisces.
2楼2012-06-25 19:42:01
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liuyuexue

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lingyuandage at 2012-06-25 19:42:01
首先可以肯定的是跟膜厚度有关
其次跟沉积速率有关
其他的,书不在身边不大记得了

那您还记不记得是什么书啊?我想找原因,就是不知道什么书上有
tomorrowisanotherday
3楼2012-06-26 08:56:04
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lingyuandage

木虫 (职业作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by liuyuexue at 2012-06-26 08:56:04
那您还记不记得是什么书啊?我想找原因,就是不知道什么书上有...

薄膜技术,本科期间选修课的教材
书讲的比较浅,主要是看引文和课件
TheincurablePisces.
4楼2012-06-26 09:03:18
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