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求助，用氮气作为保护气体，给薄膜退火已有1人参与
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| 我要给薄膜进行退火，充入氮气。可是不知道氮气的流量该用多少？想要边抽真空边通氮气进行退火，这种情况时，氮气流量该选择多少合适呢？ |
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凡是用保护气氛的热处理除了要严格控制气体纯净度以外，还要注意工作区空间密封，残余氧气驱赶，以及炉料的洁净度等环节，否则很难达到预期效果。以氮基气氛热处理为例，典型热处理工艺由四个阶段组成： （1）残余氧气排除期：这阶段的主要目标是用大气量的氮气排除工作区空间的残留氧气，装料密封后，一般通入相当于工作区空间容积5倍的氮气，可以使炉胆或内罩内的氧含量达到0.1%左右，就可以送电升温了。 （2）加热期：炉温上升时，钢丝表面残留润滑剂开始蒸发，当炉温达到400℃左右时，润滑剂的蒸发最为剧烈，对钢丝的表面质量的影响最重，需要用一定流量（3～5m3/h）的氮气驱赶烟气。当烟气明显减少时，可将氮气流量控制到下限。 （3）保温期：钢丝进入保温阶段后，氮气流量可以控制在加热末期的下限水平。 （4）冷却期：气体流量只要能保证炉内处于微正压（120mmH2O水柱）即可，具体流量取决于炉子的气密性。 文献里摘的，不知对你有否帮助。 |
6楼2014-05-28 10:54:53
7楼2014-05-29 09:46:36