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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 求助，用氮气作为保护气体，给薄膜退火
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wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 求助，用氮气作为保护气体，给薄膜退火 已有1人参与

我要给薄膜进行退火，充入氮气。可是不知道氮气的流量该用多少？想要边抽真空边通氮气进行退火，这种情况时，氮气流量该选择多少合适呢？
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当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
1楼 2014-05-26 10:00:32
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wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by fallenok at 2014-05-27 15:28:18
我不太清楚你的充氮设备是什么，如果先抽真空的话由于气压关系氮气会自发充进去。...

首先是用退火炉退火，然后抽到一定的真空度后，利用气体流量计控制充入氮气。我不知道，氮气的流量选择多少合适
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当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
5楼2014-05-28 09:39:51
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fallenok

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2014-05-29 09:46:53
一般退火要防止氧化，建议3%氢气与97%氮气混合气体，注意氢气有爆炸极限，不要超爆炸极限了。流量的话需按你抽真空的速率供给保护气，让薄膜退火时是一个稳定变化状态。
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每一个晴天就是好心情的1/4
2楼2014-05-26 15:05:36
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wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fallenok at 2014-05-26 15:05:36
一般退火要防止氧化，建议3%氢气与97%氮气混合气体，注意氢气有爆炸极限，不要超爆炸极限了。流量的话需按你抽真空的速率供给保护气，让薄膜退火时是一个稳定变化状态。

我现在想，我先抽真空。然后关闭闸板阀，再往里面充氮气，这时候，流量该选择多少合适么？有具体的数据么？
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当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
3楼2014-05-27 13:43:25
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fallenok

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wjy_421 at 2014-05-27 13:43:25
我现在想，我先抽真空。然后关闭闸板阀，再往里面充氮气，这时候，流量该选择多少合适么？有具体的数据么？...

我不太清楚你的充氮设备是什么，如果先抽真空的话由于气压关系氮气会自发充进去。
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每一个晴天就是好心情的1/4
4楼2014-05-27 15:28:18
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