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lx520lx木虫 (小有名气)
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[求助]
求助AZO薄膜退火的问题，退火后面电阻反而升高 已有2人参与
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sol-gel做的AZO，看文献里做的很多了，结果也很好，但是自己做就不行了。 做了半年了，电阻率降不下来，现在预热后，不进过退火处理的电阻率是10Ω.cm附近。用的石英衬底，空气气氛退火试了好几种，直接放入指定温度，或者从室温升温到指定温度，但是面电阻不降低反而升高，最少的也增高3倍。退火的温度500、550、600、650℃都做过，保温时间10min、1h，1.5h、2h也做过，但是效果都不行。看文献上的，虽然很多在退火后有用氢气、氮气或是真空处理，但是实验室目前没有气氛炉的条件（下学期可能会组一台）。而且看也有不用气氛处理就做到-2、-3数量级的，但是大多数都是“annealed at **℃ in air for *h”,没有更具体的了，所以来求救啦 小弟下学期大三，是学校的科研训练，做了一个学期了，但是学校教学区和科研区相距较远，一个星期只能去一次，学校通知下学期这个要结题，为了进度，暑假再学校想把退火这部分做一做，做了三个星期了还是降不下来，所以来此处求助，第一次发帖，勿喷或轻喷 |
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