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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助AZO薄膜退火的问题，退火后面电阻反而升高
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lx520lx

木虫 (小有名气)

[求助] 求助AZO薄膜退火的问题，退火后面电阻反而升高 已有2人参与

sol-gel做的AZO，看文献里做的很多了，结果也很好，但是自己做就不行了。

做了半年了，电阻率降不下来，现在预热后，不进过退火处理的电阻率是10Ω.cm附近。用的石英衬底，空气气氛退火试了好几种，直接放入指定温度，或者从室温升温到指定温度，但是面电阻不降低反而升高，最少的也增高3倍。退火的温度500、550、600、650℃都做过，保温时间10min、1h，1.5h、2h也做过，但是效果都不行。看文献上的，虽然很多在退火后有用氢气、氮气或是真空处理，但是实验室目前没有气氛炉的条件（下学期可能会组一台）。而且看也有不用气氛处理就做到-2、-3数量级的，但是大多数都是“annealed at **℃ in air for *h”,没有更具体的了，所以来求救啦

小弟下学期大三，是学校的科研训练，做了一个学期了，但是学校教学区和科研区相距较远，一个星期只能去一次，学校通知下学期这个要结题，为了进度，暑假再学校想把退火这部分做一做，做了三个星期了还是降不下来，所以来此处求助，第一次发帖，勿喷或轻喷
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1楼 2013-07-22 17:23:05
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zemix

铜虫 (小有名气)
有可能是升温速度不够吧，或者你试试温度稍低一点的
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good good study, day day up
2楼2013-07-23 13:31:41
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lx520lx

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zemix at 2013-07-23 13:31:41
有可能是升温速度不够吧，或者你试试温度稍低一点的

做过450℃的，也不行。。。现在在用10℃/min的做着看退火温度，还剩7天就回家了，这几天打算系统的重新把温度、时间和速率再做一编，看会不会有什么改进，，，，
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3楼2013-07-23 15:02:26
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z523703096

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lx520lx: 金币+4, ★有帮助, 气氛退火确实能降低电阻率，但是目前实验室没这条件。。。不使用气氛退火做高电导率的文章也不少了，应该不会都有问题吧，还有一个星期就回去了，我先再把退火相关的做一遍，下学期了再去请别的老师帮我做下气氛吧，还是很感谢的 2013-07-24 10:10:16
溶胶凝胶法做的薄膜本身就不缺氧，还在空气中退火，O离子增多，薄膜面电阻增大是必然的，而且有的文献本身不一定就正确的，你可以试试在真空或者氢气中退火，电阻能降很多
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4楼2013-07-24 08:47:00
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样童鞋2

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

不能用空气退火，而且退火温度最多400度。氩气，氮气最好。用快速退火炉退火
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fighting
5楼2015-10-19 17:57:01
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by z523703096 at 2013-07-24 08:47:00
溶胶凝胶法做的薄膜本身就不缺氧，还在空气中退火，O离子增多，薄膜面电阻增大是必然的，而且有的文献本身不一定就正确的，你可以试试在真空或者氢气中退火，电阻能降很多

正解
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黑暗中的光
6楼2015-10-23 10:39:40
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

在空气中退火，只会使薄膜的结晶特性提高，但是薄膜中的氧空位会下降，而氧空位却是Azo薄膜导电重要的因素，所以你的面电阻是不会下降的
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用绳命来搞科研
7楼2015-10-26 11:15:23
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贝壳张玉利

新虫 (正式写手)
感觉这个是情理之中。

发自小木虫Android客户端
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8楼2015-10-27 06:43:58
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