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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 电极的退火温度
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ggz51

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 电极的退火温度

本人在做一些半导体器件，比如PN结或TFT。
请问大家在测试电学性能时怎么镀电极啊？
我用热蒸发镀的Ni或Al电极，如果不退火，都不是很好的欧姆接触，请问，这两种电极的退火温度各是多少啊？

谢谢，拜托了。
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1楼 2013-04-15 21:41:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ggz51: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2013-04-17 09:21:55
Ni是450度，30s。Al不记得了。要用RTP的炉子。
如果没有RTP，用马弗炉快点进出炉膛。
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2楼2013-04-16 04:20:41
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夜冷冷

木虫 (著名写手)

硅基薄膜太阳能电池

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我们用热蒸发镀Al电极，也没有做退火，觉得做的还是可以的。但是很多文献上介绍经过退火能形成更好的欧姆接触~
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既然选择了远方就只顾风雨兼程~
3楼2013-04-16 07:59:09
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lmcr

铜虫 (小有名气)
请问如何检测是不是欧姆接触？
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4楼2013-04-16 11:25:29
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ggz51

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-16 04:20:41
Ni是450度，30s。Al不记得了。要用RTP的炉子。
如果没有RTP，用马弗炉快点进出炉膛。

谢谢啊，呵呵
不过 我打算用Al 做电极，因为它的熔点低，好做。劳烦您再帮我想想 你们的Al 电极是怎么样退的火。
谢谢~~
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5楼2013-04-16 12:59:16
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by ggz51 at 2013-04-16 12:59:16
谢谢啊，呵呵
不过 我打算用Al 做电极，因为它的熔点低，好做。劳烦您再帮我想想 你们的Al 电极是怎么样退的火。
谢谢~~...

Al做电极，Ni做欧姆接触，不矛盾的。
Al的退火真的忘了。
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ggz51
6楼2013-04-16 13:54:44
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ggz51

铁杆木虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-16 13:54:44
Al做电极，Ni做欧姆接触，不矛盾的。
Al的退火真的忘了。...

ok，好的，谢谢。还有一个问题，嘿嘿
那您给Ni 用RTP退火时，用的什么气氛？O2？ 要是用马弗炉的话，那就只可能是O2了。
谢谢。
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7楼2013-04-17 09:21:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by ggz51 at 2013-04-17 09:21:41
ok，好的，谢谢。还有一个问题，嘿嘿
那您给Ni 用RTP退火时，用的什么气氛？O2？ 要是用马弗炉的话，那就只可能是O2了。
谢谢。...

RTP都是氮气，马弗炉只是临时替代的，最好是气氛炉或者真空炉。
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8楼2013-04-17 11:53:37
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ggz51

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-17 11:53:37
RTP都是氮气，马弗炉只是临时替代的，最好是气氛炉或者真空炉。...

嗯，好的，谢谢啊。好人一生平安~~
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9楼2013-04-17 16:15:00
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)
铝电极 用RTA处理温度是 400  3min
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ggz51
天道酬勤
10楼2013-04-17 18:29:26
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