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ggz51

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 电极的退火温度

本人在做一些半导体器件,比如PN结或TFT。
请问大家在测试电学性能时怎么镀电极啊?
我用热蒸发镀的Ni或Al电极,如果不退火,都不是很好的欧姆接触,请问,这两种电极的退火温度各是多少啊?

谢谢,拜托了。
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ggz51: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2013-04-17 09:21:55
Ni是450度,30s。Al不记得了。要用RTP的炉子。
如果没有RTP,用马弗炉快点进出炉膛。
2楼2013-04-16 04:20:41
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夜冷冷

木虫 (著名写手)

硅基薄膜太阳能电池

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
我们用热蒸发镀Al电极,也没有做退火,觉得做的还是可以的。但是很多文献上介绍经过退火能形成更好的欧姆接触~
既然选择了远方就只顾风雨兼程~
3楼2013-04-16 07:59:09
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lmcr

铜虫 (小有名气)

请问如何检测是不是欧姆接触?
4楼2013-04-16 11:25:29
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ggz51

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-16 04:20:41
Ni是450度,30s。Al不记得了。要用RTP的炉子。
如果没有RTP,用马弗炉快点进出炉膛。

谢谢啊,呵呵
不过 我打算用Al 做电极,因为它的熔点低,好做。劳烦您再帮我想想 你们的Al 电极是怎么样退的火。
谢谢~~
5楼2013-04-16 12:59:16
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by ggz51 at 2013-04-16 12:59:16
谢谢啊,呵呵
不过 我打算用Al 做电极,因为它的熔点低,好做。劳烦您再帮我想想 你们的Al 电极是怎么样退的火。
谢谢~~...

Al做电极,Ni做欧姆接触,不矛盾的。
Al的退火真的忘了。

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6楼2013-04-16 13:54:44
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ggz51

铁杆木虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-16 13:54:44
Al做电极,Ni做欧姆接触,不矛盾的。
Al的退火真的忘了。...

ok,好的,谢谢。还有一个问题,嘿嘿
那您给Ni 用RTP退火时,用的什么气氛?O2? 要是用马弗炉的话,那就只可能是O2了。
谢谢。
7楼2013-04-17 09:21:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
7楼: Originally posted by ggz51 at 2013-04-17 09:21:41
ok,好的,谢谢。还有一个问题,嘿嘿
那您给Ni 用RTP退火时,用的什么气氛?O2? 要是用马弗炉的话,那就只可能是O2了。
谢谢。...

RTP都是氮气,马弗炉只是临时替代的,最好是气氛炉或者真空炉。
8楼2013-04-17 11:53:37
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ggz51

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-17 11:53:37
RTP都是氮气,马弗炉只是临时替代的,最好是气氛炉或者真空炉。...

嗯,好的,谢谢啊。好人一生平安~~
9楼2013-04-17 16:15:00
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)

铝电极 用RTA处理温度是 400  3min

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天道酬勤
10楼2013-04-17 18:29:26
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