应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 求助，用氮气作为保护气体，给薄膜退火
51/1返回列表
查看: 1773  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 求助，用氮气作为保护气体，给薄膜退火 已有1人参与

我要给薄膜进行退火，充入氮气。可是不知道氮气的流量该用多少？想要边抽真空边通氮气进行退火，这种情况时，氮气流量该选择多少合适呢？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
1楼 2014-05-26 10:00:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fallenok at 2014-05-26 15:05:36
一般退火要防止氧化，建议3%氢气与97%氮气混合气体，注意氢气有爆炸极限，不要超爆炸极限了。流量的话需按你抽真空的速率供给保护气，让薄膜退火时是一个稳定变化状态。

我现在想，我先抽真空。然后关闭闸板阀，再往里面充氮气，这时候，流量该选择多少合适么？有具体的数据么？
赞一下 回复此楼
当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
3楼2014-05-27 13:43:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

fallenok

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2014-05-29 09:46:53
一般退火要防止氧化，建议3%氢气与97%氮气混合气体，注意氢气有爆炸极限，不要超爆炸极限了。流量的话需按你抽真空的速率供给保护气，让薄膜退火时是一个稳定变化状态。
赞一下(1人) 回复此楼
每一个晴天就是好心情的1/4
2楼2014-05-26 15:05:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fallenok

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wjy_421 at 2014-05-27 13:43:25
我现在想，我先抽真空。然后关闭闸板阀，再往里面充氮气，这时候，流量该选择多少合适么？有具体的数据么？...

我不太清楚你的充氮设备是什么，如果先抽真空的话由于气压关系氮气会自发充进去。
赞一下 回复此楼
每一个晴天就是好心情的1/4
4楼2014-05-27 15:28:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by fallenok at 2014-05-27 15:28:18
我不太清楚你的充氮设备是什么，如果先抽真空的话由于气压关系氮气会自发充进去。...

首先是用退火炉退火，然后抽到一定的真空度后，利用气体流量计控制充入氮气。我不知道，氮气的流量选择多少合适
赞一下 回复此楼
当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
5楼2014-05-28 09:39:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 急需审稿人！！！ +3 陆小果画大饼 2026-04-21 3/150 2026-04-21 23:54 by jzy_123456
[考研] 一志愿A区211，22408 321求调剂 +7 随心所欲☆ 2026-04-15 8/400 2026-04-21 08:22 by Equinoxhua
[考研] 一志愿中科大材料与化工，353分还有调剂学校吗 +11 否极泰来2026 2026-04-15 13/650 2026-04-20 22:31 by Equinoxhua
[论文投稿] 期刊推荐 +3 材料研究生 2026-04-15 5/250 2026-04-20 16:02 by 豆豆7758
[论文投稿] 有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业 20+4 之护着 2026-04-16 7/350 2026-04-20 15:45 by 豆豆7758
[考研] 337求调剂 +3 jyz04 2026-04-18 3/150 2026-04-20 12:24 by 研可安
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 294求调剂 +8 淡然654321 2026-04-17 9/450 2026-04-19 19:51 by Equinoxhua
[考研] 304求调剂 +8 castLight 2026-04-16 8/400 2026-04-19 17:14 by 中豫男
[考研] 求调剂 +10 小聂爱学习 2026-04-16 12/600 2026-04-19 16:51 by 中豫男
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 294求调剂 +15 淡然654321 2026-04-15 15/750 2026-04-19 08:20 by cuisz
[考研] 0854求调剂 +23 门路摸摸 2026-04-15 27/1350 2026-04-19 01:59 by 烟雨流涯
[考研] 300求调剂 +12 橙a777 2026-04-15 12/600 2026-04-18 23:51 by 路病情
[考研] 接受任何调剂 +6 也就是栗子 2026-04-17 7/350 2026-04-18 17:20 by 涵竹刘
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 急需调剂 +9 绝不放弃22 2026-04-15 10/500 2026-04-18 08:09 by chixmc
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 322求调剂 +6 tekuzu 2026-04-17 6/300 2026-04-17 13:48 by Espannnnnol
[考研] 一志愿沪9，生物学326求调剂 +9 刘墨墨 2026-04-15 9/450 2026-04-16 17:14 by 崔崔崔cccc
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭