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求助，用氮气作为保护气体，给薄膜退火 已有1人参与
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| 我要给薄膜进行退火，充入氮气。可是不知道氮气的流量该用多少？想要边抽真空边通氮气进行退火，这种情况时，氮气流量该选择多少合适呢？ |
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