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汕头大学海洋科学接受调剂
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wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 求助,用氮气作为保护气体,给薄膜退火 已有1人参与

我要给薄膜进行退火,充入氮气。可是不知道氮气的流量该用多少?想要边抽真空边通氮气进行退火,这种情况时,氮气流量该选择多少合适呢?
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wjy_421

新虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by fallenok at 2014-05-28 10:54:53
凡是用保护气氛的热处理除了要严格控制气体纯净度以外,还要注意工作区空间密封,残余氧气驱赶,以及炉料的洁净度等环节,否则很难达到预期效果。以氮基气氛热处理为例,典型热处理工艺由四个阶段组成:    (1)残 ...

非常感谢你
当你站在高处时能让别人看清你,当你跌落低谷时,你能看清所有人
7楼2014-05-29 09:46:36
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fallenok

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wjy_421: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2014-05-29 09:46:53
一般退火要防止氧化,建议3%氢气与97%氮气混合气体,注意氢气有爆炸极限,不要超爆炸极限了。流量的话需按你抽真空的速率供给保护气,让薄膜退火时是一个稳定变化状态。
每一个晴天就是好心情的1/4
2楼2014-05-26 15:05:36
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wjy_421

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by fallenok at 2014-05-26 15:05:36
一般退火要防止氧化,建议3%氢气与97%氮气混合气体,注意氢气有爆炸极限,不要超爆炸极限了。流量的话需按你抽真空的速率供给保护气,让薄膜退火时是一个稳定变化状态。

我现在想,我先抽真空。然后关闭闸板阀,再往里面充氮气,这时候,流量该选择多少合适么?有具体的数据么?
当你站在高处时能让别人看清你,当你跌落低谷时,你能看清所有人
3楼2014-05-27 13:43:25
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fallenok

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wjy_421 at 2014-05-27 13:43:25
我现在想,我先抽真空。然后关闭闸板阀,再往里面充氮气,这时候,流量该选择多少合适么?有具体的数据么?...

我不太清楚你的充氮设备是什么,如果先抽真空的话由于气压关系氮气会自发充进去。
每一个晴天就是好心情的1/4
4楼2014-05-27 15:28:18
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