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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射镀膜气压低时无法起辉
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀膜气压低时无法起辉 已有5人参与

用直流磁控溅射镀热压烧结的CaB6。气压大于1.6Pa时可以正常起辉，电压电流也正常。1.5Pa时就不能正常起辉。求问是什么原因
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1楼 2014-06-04 21:10:43
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
静忆hh: 金币+1, ★有帮助 2014-06-16 10:44:26
气压低时，气体分子少，无法形成等离子体

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2014-06-04 21:49:57
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2014-06-04 21:49:57
气压低时，气体分子少，无法形成等离子体

我们之前的参数一直是1.0Pa或1.5pa的。就这次不行
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3楼2014-06-05 16:53:16
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ccccdong

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
静忆hh: 金币+1, ★有帮助 2014-06-16 10:44:35
加的是什么气体？氩气？气压调大试试，我这边都是5pa起辉的。
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helloguys
4楼2014-06-09 15:48:28
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qhs81

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
静忆hh: 金币+1, ★有帮助 2014-06-16 10:44:46
你可以高压起辉以后再降低气压，或者如果腔体有多块靶，装一个最容易起辉的如铜靶，先起辉铜，诱导一下再灭掉。
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5楼2014-06-11 09:14:54
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haodong1121

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
静忆hh: 金币+1, ★有帮助 2014-06-16 10:44:54
1.6Pa启辉不算啥，本来气压低时，工作气体少，可以尝试高气压启辉，低气压溅射。
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梦想当学霸+大牛……
6楼2014-06-11 09:53:58
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
问题已解决啦，谢各位啦
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7楼2014-06-16 10:44:00
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eaglelf

铜虫 (初入文坛)
求问怎么解决的？
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8楼2014-08-09 09:25:21
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
静忆hh: 金币+1 2014-08-18 08:58:16
气压不够，还是要先大一点，等起辉以后，可以慢慢降低。
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哈哈哈哈，来吧
9楼2014-08-10 03:45:45
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