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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀膜气压低时无法起辉 已有5人参与

用直流磁控溅射镀热压烧结的CaB6。气压大于1.6Pa时可以正常起辉,电压电流也正常。1.5Pa时就不能正常起辉。求问是什么原因
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qhs81

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


静忆hh: 金币+1, 有帮助 2014-06-16 10:44:46
你可以高压起辉以后再降低气压,或者如果腔体有多块靶,装一个最容易起辉的如铜靶,先起辉铜,诱导一下再灭掉。
5楼2014-06-11 09:14:54
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
静忆hh: 金币+1, 有帮助 2014-06-16 10:44:26
气压低时,气体分子少,无法形成等离子体

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-06-04 21:49:57
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by vincentwz at 2014-06-04 21:49:57
气压低时,气体分子少,无法形成等离子体

我们之前的参数一直是1.0Pa或1.5pa的。就这次不行
3楼2014-06-05 16:53:16
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ccccdong

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


静忆hh: 金币+1, 有帮助 2014-06-16 10:44:35
加的是什么气体?氩气?气压调大试试,我这边都是5pa起辉的。
helloguys
4楼2014-06-09 15:48:28
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