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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题！
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god1999

金虫 (小有名气)

[求助] 江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题！

我用磁控溅射的方法制备的是硅薄膜和钛薄膜的交替样品，就是一层硅一层钛，总层数大约是60层，但不知道怎么测这样的膜厚。每一层的膜厚大概是50nm-1μm之间不等，求大侠指教。
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新手，求帮助
1楼2013-02-26 15:54:04
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

cwyuglfen

铁虫 (小有名气)
用台阶仪，镀膜时采用高温胶带掩膜，镀后用台阶仪测试
分析别人的样品可以考虑sims，层层剥离
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17楼2013-07-19 16:26:25
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god1999

金虫 (小有名气)
自己顶一个
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新手，求帮助
2楼2013-02-26 15:58:14
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god1999

金虫 (小有名气)
求帮助，
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新手，求帮助
3楼2013-02-26 15:58:33
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avad

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 感谢参与，欢迎常来！ 2013-02-26 22:05:01
一般是TEM。
这个要准确测量还是比较难的。
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不如归去
4楼2013-02-26 18:30:57
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wangya705

禁虫 (小有名气)
★
感谢参与，应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 感谢参与，欢迎常来！ 2013-02-26 22:04:22
本帖内容被屏蔽
5楼2013-02-26 18:48:51
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god1999

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wangya705 at 2013-02-26 18:48:51
SEM可以测量，如果膜厚再大的话光学显微镜也是可以测量的。不过精确度可能有点偏差，将试样打磨之后更易于测量。

SEM一般很难看到50nm的切面，我试过，结果看不出明暗相间的条纹，只是模糊的一片，我用的是载玻片或者厚度为15微米的铜箔，怎么进行打磨。求指教。
ps:我曾用过环氧树脂进行固化，但是环氧树脂将我镀的膜给泡掉了，有更好的方法吗？
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6楼2013-02-27 12:27:25
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god1999

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by god1999 at 2013-02-26 15:58:33
求帮助，

TEM看膜厚？求指教。
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7楼2013-02-27 12:28:15
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avad

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by god1999 at 2013-02-27 12:28:15
TEM看膜厚？求指教。

TEM也有形貌分析，分辨率一般比SEM的高。
请参考与superlattice有关的文献。
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不如归去
8楼2013-02-27 17:16:30
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god1999

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by avad at 2013-02-27 17:16:30
TEM也有形貌分析，分辨率一般比SEM的高。
请参考与superlattice有关的文献。...

谢谢。
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新手，求帮助
9楼2013-02-27 22:11:35
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dongnengfa

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
测薄膜厚度的方法有多种，如用台阶仪、椭圆偏振仪、干涉显微镜等仪器测量。
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10楼2013-02-27 22:31:50
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