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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题！
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yaoyao145

木虫之王 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
台阶仪 原子力显微镜都可以
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11楼2013-02-27 22:33:10
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jsiu168

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 鼓励新虫应助，欢迎常来！ 2013-02-28 11:03:36
一般常见的测厚方式有激光、红外、射线或微波等，
其中红外是测重量，然后换算成厚度的；
激光是直接测厚度；
微波是通过测含水量来换算的，且测试样不含电解质才行；
射线一般用在工业上，实验室不太推荐。
鉴于你的情况，可以选择红外测厚仪或者激光测厚仪，市场上有售的。
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12楼2013-02-28 08:10:18
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god1999

金虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by jsiu168 at 2013-02-28 08:10:18
一般常见的测厚方式有激光、红外、射线或微波等，
其中红外是测重量，然后换算成厚度的；
激光是直接测厚度；
微波是通过测含水量来换算的，且测试样不含电解质才行；
射线一般用在工业上，实验室不太推荐。
鉴 ...

他可以测出每一层的厚度吗？我这是一个样品，有60层
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新手，求帮助
13楼2013-02-28 09:55:00
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jsiu168

金虫 (小有名气)
★
zyz666888: 金币+1, 感谢参与，欢迎常来！ 2013-02-28 21:52:35
引用回帖:
13楼: Originally posted by god1999 at 2013-02-28 09:55:00
他可以测出每一层的厚度吗？我这是一个样品，有60层...

做完后测每一层不行，只有做的时候在线测才有可能是每层的厚度
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14楼2013-02-28 15:16:17
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liuyuexue

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你的单层膜厚很厚可以用RBS啊，不用制样，无损分析，
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tomorrowisanotherday
15楼2013-03-22 10:25:07
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gaopan1991

银虫 (初入文坛)
为什么不在镀膜过程中在线监测膜厚？如石英晶振片的原理等
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知识是无穷的，就看你学不学
16楼2013-07-11 20:52:23
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cwyuglfen

铁虫 (小有名气)
用台阶仪，镀膜时采用高温胶带掩膜，镀后用台阶仪测试
分析别人的样品可以考虑sims，层层剥离
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17楼2013-07-19 16:26:25
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god1999

金虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by cwyuglfen at 2013-07-19 16:26:25
用台阶仪，镀膜时采用高温胶带掩膜，镀后用台阶仪测试
分析别人的样品可以考虑sims，层层剥离

没有这个仪器啊，你知道这个仪器哪有？怎么收费的？
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新手，求帮助
18楼2013-07-19 19:55:48
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