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god1999

金虫 (小有名气)

[求助] 江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题!

我用磁控溅射的方法制备的是硅薄膜和钛薄膜的交替样品,就是一层硅一层钛,总层数大约是60层,但不知道怎么测这样的膜厚。每一层的膜厚大概是50nm-1μm之间不等,求大侠指教。
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jsiu168

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 鼓励新虫应助,欢迎常来! 2013-02-28 11:03:36
一般常见的测厚方式有激光、红外、射线或微波等,
其中红外是测重量,然后换算成厚度的;
激光是直接测厚度;
微波是通过测含水量来换算的,且测试样不含电解质才行;
射线一般用在工业上,实验室不太推荐。
鉴于你的情况,可以选择红外测厚仪或者激光测厚仪,市场上有售的。
12楼2013-02-28 08:10:18
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god1999

金虫 (小有名气)

自己顶一个
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2楼2013-02-26 15:58:14
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avad

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 感谢参与,欢迎常来! 2013-02-26 22:05:01
一般是TEM。
这个要准确测量还是比较难的。
不如归去
4楼2013-02-26 18:30:57
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wangya705

禁虫 (小有名气)


感谢参与,应助指数 +1
zyz666888: 金币+1, 感谢参与,欢迎常来! 2013-02-26 22:04:22
本帖内容被屏蔽

5楼2013-02-26 18:48:51
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